松原衣里さん（理工学研究科　材料機能工学専攻　修士課程1年　上山智教授?竹内哲也教授?岩谷素顕教授　　　　　　　研究室）

日本結晶成長学会　第14回ナノ構造エピタキシャル成長講演会　発表奨励賞

2022年11月25日

加熱加圧水によるサファイア基板からのAlGaN膜剥離

発表奨励賞は、日本結晶成長学会ナノ構造?エピタキシャル成長分科会が若手会員に対して行う表彰の一つです。分科会の講演会で、結晶成長及び関連の研究の発展に貢献する優秀な論文を発表した若手会員に対して授与され、その功績を称えることを目的としています。本発表では深紫外領域のレーザダイオードにおいて、縦型デバイス実現に向けた絶縁性サファイア基板をAlGaN結晶中にボイド（空隙）を形成すること、ボイドに真空を活用することにより純水を導入したこと、さらには、その純水を加熱加圧状態にすることにより基板の剥離に成功しました。これらの成果が学術的に高く評価されたことから本受賞につながりました。現在は、縦型デバイスの実現やその剥離メカニズムの検証を行っています。