トップページ／受賞 理工学研究科の武田恵太さんがT-J Workshopで Best Presentation Awardを受賞
| 受賞者 |
武田 恵太さん （理工学研究科 電気電子工学専攻 修士課程２年、太田貴之研究室） |
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| 受賞名 |
Taiwan - Japan Joint Workshop (T-J Workshop) on 11th Workshop for Electrical and Electronic Engineering Applications (WEEEA), 11th International Workshop for Nano-Carbon Workshop (IWNC), 13th International Workshop for Plasma-Bio Science and Technology (IWPBST), 1st International Workshop for Carbon Neutral Material Reforming Technology (IWCMT), Best Presentation Award |
| 受賞日 |
2023年3月4日 |
| 受賞テーマ |
Deposition of diamond-like carbon film using Ar/Xe mixture gas on high power pulsed magnetron sputtering |
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高硬度ダイヤモンドライクカーボンは、フラッシュメモリなどの半導体デバイス製造用の材料として期待されています。大電力パルススパッタリングと呼ばれる成膜手法において、従来のアルゴンガスに加えてキセノンガスを混合することでダイヤモンドライクカーボン薄膜の硬度が向上することを見出しました。 本学の海外協定校である台湾のChung-Yuan Christian University, Yuan-Ze University, National Taiwan University of Science and Technologyと、低温プラズマを用いた応用や先端材料に関する研究発表会(T-J Workshop)を毎年開催しており、国際研究交流を行っています。 この研究成果について、 T-J Workshopで発表したところ、Best Presentation Awardを受賞しました。 |
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