松原衣里さん （理工学研究科材料機能工学専攻修士課程 2年、半導体研究室（指導教員：岩谷素顕教授))

ICNS-14　Best Student Award

2023年11月17日

Development of exfoliation technology for AlGaN from sapphire substrates using saturated vapor pressure heated water and analysis of the mechanism

2023年11月12日から17日に開催された第14回窒化物半導体国際会議（14th International Conference of Nitride Semiconductors: ICNS-14）においてBest Student Awardを受賞しました。本AwardはICNS-14で発表した300件を超えるの学生発表の中から優秀な発表を行った学生に対して与えられたものになります。

本発表では深紫外領域のレーザダイオードにおいて、縦型デバイス実現に向けた絶縁性サファイア基板を剥離する全く新しい方法を開発した結果を報告しました。具体的には加熱?加圧した水を用いることにより比較的大口径なウェハーの剥離が可能であることを見出しました。また、その剥離メカニズムさらには縦型デバイスの動作実証に関する検討結果も報告しました。これらの成果が学術的に高く評価されたことから本受賞につながりました。